近来,上海超硅半导体股份有限公司携12英寸大尺度半导体硅片等产品露脸2025湾区半导体工业生态博览会。上海超硅长时间深耕高端半导体资料范畴,致力于为加速国产供应链安全、自主、可控贡献力量,为推进国产芯片先进制程加速速度进行开展供给动能。
据悉,上海超硅完结了国产单晶炉的自主可控。公司凭仗对晶体生长设备、软件体系与工艺操控技能的全面把握,成为全世界极少数具有这一归纳才能的企业之一,其技能先进性已获得下流世界头部厂商的广泛认可。完结了国产单晶炉的自主可控。
在半导体硅片制作中,晶体生长是决议硅片内涵质量的中心环节,必定的联系到晶体的纯度、缺点密度及尺度参数。跟着半导体工业对硅片质量开展要求日益提高,晶体生长工艺正向高精度、热场优化与精细化操控方向开展。相较于外购设备,上海超硅自主规划的单晶炉可以在必定程度上完结严厉把控晶体生长环节的质量操控及迭代晋级,并经过定制化出产快速呼应客户的差异化需求。
单晶炉作为要害工艺配备,公司在温控体系、热场结构、旋转提拉机制、自动化操控办理体系等方面的继续迭代,为晶体生长工艺的立异供给要害的硬件支撑。上海超硅在这方面的自主才能也赢得了世界商场的信赖。据悉,全球硅片有突出贡献的公司之一的举世晶圆,正方案扩大先进制程硅片产能,已与上海超硅达到合作意向,收购其单晶炉用于先进制程晶体生长。
在SOI硅片制作范畴,上海超硅相同获得重大打破,成功完结SOI硅片剥离机与氢离子注入机的自主可控,使公司在商场之间的竞赛中可以削减对外部设备供货商的依靠,并为开发12英寸SOI硅片奠定了技能和产能根底。
上海超硅等国产半导体硅片厂商在中心设备方面的打破,不仅是国内企业技能攻坚的效果,更表现了我国半导体工业链在高端范畴获得实质性发展。从工业层面看,国产硅片中心设备的老练,为先进制程芯片的国产化供给了资料根底。 (邹易)