本应用简报介绍了使用 HPLC-UV、GC-MS 和 LC-MS 等技术共同表征剥离液的方法。HPLC-UV 可用于初步表征样品中具有紫外吸收的化合物,并作为产品质量控制的常规手段;而 GC-MS 和 LC-MS 不仅仅可以检出不含紫外官能团的低浓度化合物,还能够对化合物进行定性和定量分析,适用于剥离液的含量测定、杂质研究和配方剖析。
光刻是一种在薄膜或基板(也称为“晶圆”)上对零件图形化的 精密加工工艺。光刻技术利用光将几何图形从光掩模(也被称为 “光罩”)转移到基板上的感光(即光敏)化学光刻胶上,通过一系列化学处理将曝光图形蚀刻到材料中;或者将新材料以所需图形沉积在光刻胶下方的材料上。光刻技术大范围的应用于芯片、平 板显示器和微机电系统等的制造。在整个光刻流程中,不仅用到光刻胶,还需要用显影液、蚀刻液和剥离液等化学品。剥离作为光刻流程的重要工序之一,目的是将光刻胶从基板上彻底清除,而不腐蚀基板本身。
光刻胶种类很多,大致分为正性和负性光刻胶两大类。不同的光刻制程所用的光刻胶材料也有区别。为了充分剥离附着在基板上的光刻胶,需要依据光刻胶的种类和结构特性,有明确的目的性的选择剥离液。剥离液的种类很丰富,最重要的包含正胶剥离液(水系或有机系)、剥离清洗液(铝制程)和剥离清洗液(铜制程)等。例如,针对主要成分为酚醛树脂和感光剂的 UV 光刻胶(曝光波长 465 nm/365 nm),剥离过程最重要的包含:醇胺类化合物攻击光刻胶,打断光刻胶分子链,生成分子量更小的光刻胶片段;有机溶剂渗透至光刻胶片段分子链内部,发生溶胀,然后醇醚类化合物进一步溶解溶胀后的光刻胶片段;最后,光刻胶片段分子链随喷 淋液流和清洗水流脱离基板表面[2]。
剥离液的主要成分包括醇、有机胺和醚类[1-4]。为保护基板不被腐蚀,可能会向剥离液中加入一些芳香族化合物、羟基化合物、苯并类化合物[5]、氨基酸、有机酸或酸酐[1]。有关剥离液的成分分析鲜有报道。本文采用 HPLC-UV、GC-MS 和 LC-MS 对剥离液进行了全面表征。其中,HPLC 作为常规检验测试手段,可用于剥离液的日常检测;而 GC-MS 和 LC-MS 由于具有高灵敏度,且能根据质谱信息鉴定化合物,因此是研究应用的首选工具。另外,本文中 GC-MS 和 LC-MS 对有机胺和醚类化合物的鉴别判定的结果可以相互印证。

根据 EPA 方法 1633 分析水样中的全氟和多氟烷基化合物 (PFAS)

本应用简报针对 2025 版《中国药典》2341 和 0212 公示稿的内容,介绍了关于 43 种禁用农药和 31 种限用农药残留的检测的新方法和部分方法学验证结果。选取麦冬、人参、陈皮、甘草、菊花、党参等基质,采用 Agilent Bond Elut QuEChERS 和 Agilent Bond Elut HLB SPE 净化柱进行样品前处理,随后进样至 LC-MS/MS 系统来进行分析。实验结果表明,该方法线性良好,所考察的目标化合物的线;对于六种不同的药材基质,通过两种样品前处理方法所得到的目标化合物回收率均满足要求 (60%–130%);且稳定性考察根据结果得出,目标化合物的峰面积偏差均在 ±15% 以内,满足药典要求。
可充电电池作为传统内燃机的替代产品,为减少碳排放和降低对化石燃料的依赖提供了一种经济高效的解决方案,在全世界内引起了广泛的关注和讨论。由于锂、钠和钾等碱金属具有较高的理论比容量和极低的电化学势,许多研究团队 都将其作为研究重点[1]。本白皮书举例说明了前沿研究团队怎么样去使用安捷伦紫外-可见/近红外分光光度计表征可充电电池材料和组件。
Agilent Cary 3500 紫外-可见分光光度计具备优秀能力的吸光度准确度以及超过 3 Abs 的线性动态范围
根据美国药典 (USP) 所述的指导原则,使用不相同浓度的重铬酸钾 (K2Cr2O7) 证明Agilent Cary 3500 可提供高达 3.5 Abs 的线性动态范围和该范围内优异的光度准确度。 分光光度计的光度准确度和线性决定了其测量化合物吸光度的能力,该吸光度与已知的吸光系数或浓度直接相关。
为确保药品安全,所有药品起始材料在进入药品生产流程之前,一定要经过分析鉴定(ID),以作为放行流程的一部分。该法规要求也适用于药品的活性药物成分 (API)。要确认这些原辅料的身份,需要简单、能快速执行且具有高特异性的分析方法。寡核苷酸是一类相对较新的 APIs,给 ID 检测带来了巨大的挑战。一些常用的成熟方法,例如色谱法或电泳法是分子量确认的理想选择;对于序认,需要一种可以区分碱基对变化的技术[1]。此外,这一些方法对短链寡核苷酸的选择性较差,因为无论寡核苷酸序列如何,长度相同的相似寡核苷酸可能会产生相似的HPLC 色谱图和保留时间。