浙江奥首请求一种铜基复合金属显现蚀刻液专利确保蚀刻反响无金属残留等现象

来源:leyu.com    发布时间:2025-05-19 15:38:21

  金融界2024年12月17日音讯,国家知识产权局信息数据显现,浙江奥首资料科技有限公司请求一项名为“一种铜基复合金属显现蚀刻液及其制备办法与使用”的专利,公开号CN 119121229 A,请求日期为2024年9月。

  专利摘要显现,本发明触及一种铜基复合金属显现蚀刻液及其制备办法与使用。所述的蚀刻液,依照分量份核算包含如下组分:过氧化氢5‑20份;酸性物质5‑15份;螯合剂0.01‑0.05份;醇胺2‑10份;缓蚀剂0.1‑1份;安稳剂0.1‑2份;去离子水50‑80份。本发明蚀刻液中的螯合剂可以超强络合铜离子,不只削弱对过氧化氢的分化,还可以给我们供给安稳的酸性环境。本发明的蚀刻液可以确保在铜离子含量到达12000ppm,且蚀刻反响中,玻璃基板无金属残留,无二段角和Mo拖尾现象产生。本发明的蚀刻液可使用于Cu/MoNb合金基板,具有十分杰出的蚀刻作用。